Характеристики и описание
- Производитель
- Страна производительАвстрия
Описание
Новая высококачественная, светодиодная экспонирующая оптика с высокой однородностью и низким энергопотреблением для систем с поддержкой подложки диаметром до 200 мм.
В течение многих лет ртутные лампы были единственным источником света, который мог обеспечить достаточную интенсивность для требований систем совмещения масок. Благодаря недавним усовершенствованиям УФ-светодиодов в сочетании с хорошо спроектированной оптикой теперь можно обеспечить интенсивность аналогичную интенсивности стандартных ртутных ламп с бесчисленными дополнительными преимуществами. Спектр излучения также обеспечивает высокую интенсивность для фоторезистов i-, g- и h-спектральных составляющих. Кроме того, отдельные спектральные линии теперь могут быть индивидуально настроены для оптимального экспонирования.
Преимущества светодиодного экспонирования
- Мгновенное включение / выключение
- Длительный срок службы источника света
- Низкое потребление энергии
- Нет необходимости в азотном охлаждении
- Индивидуально настраиваемые спектральные линии излучения
- Низкие эксплуатационные и эксплуатационные расходы
Все эти преимущества могут быть обеспечены без каких-либо недостатков в производительности по сравнению с ртутными лампами.
Сравнительная таблица
|
|
Ртутная лампа |
Светодиодная лампа |
|
Длина волны |
Стандартный спектр излучения (i-, g-, h-линии), фильтры для исключения нежелательных составляющих |
Возможность настройки отдельно на каждую линию (i, g, h) либо на широкополосную работу (i-, g-и h-линии) |
|
Интенсивность |
До ~ 20 мВт/см² |
До ~ 20 мВт/см² |
|
Размер подложки |
До 200 мм |
До 200 мм |
|
Однородность |
< 4 % для i-, g- и h-линии (подложки 200 мм) |
< 4 % i-линии, < 3 % g- и h-линии (подложки 200 мм) |
|
Срок службы лампы |
Максимум 5000 часов (Постоянное включение, включение и выключение не рассматривается) |
10,000-30,000 часов (Нечувствительность к переключениям) |
|
Обслуживание |
Необходимость регулярной замены ламп |
Отсутствует |
|
Выделение тепла |
Высокое, необходимо азотное охлаждение |
Низкое, не требуется азотного охлаждения |
|
Окружающая среда |
Ртуть, высокое потребление энергии |
Отсутствие ртути, низкое энергопотребление |
|
Удобство для пользователя |
Длительное время запуска (рекомендуется 10 – 15 минут), Экспонирование открытием/закрытием затвора |
Мгновенное включение / выключение (без затвора) |
|
Эксплуатационные расходы |
Высокие, из-за потребления азота и регулярных замен ламп |
Низкое, отсутствие расходных материалов и длительный срок службы |
Доставка
Оплата и гарантии