Описание:
Система жидкостного травления μChem обеспечивает выполнение всех процессов жидкостной химической обработки в технологиях производства МЭМС, полупроводников, солнечных батарей, оптики и других. Гибкость настроек и конфигурации делает устройство μChem идеальным решением как для промышленного использования, так и для нужд R&D
Основные возможности:
- Работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2
- Очистка пластин: ультразвуковая, мегазвуковая ванна
- Промывка пластин: стоп-ванна, ванна быстрого отмыва
- Сушка пластин: центробежная отмывка и сушка пластин, сушки в изопропиловом спирте.
- Контроль параметров химии (состав, рH, температура)
- Различные варианты исполнения: ручные и автоматические системы
- Ламинарный вытяжной шкаф или настольные системы
- Постановка и сдача процесса под задание заказчика
Корпус устройства изготовлен из полипропилена устойчивого к агрессивным химическим реагентам(кислотам/щелочам). В соответствии с принятым в Германии законом о защите окружающей среды встроен поддон сбора реагентов, который снабжен датчиками жидкости во избежание утечки. Комплект поставки возможно подобрать индивидуально по спецификациям заказчика.
Корпус
- Материалы: стандартно полипропилен, дополнительно PVDF, нержавеющая сталь.
- Материал дверцы: полипропилен или PMMA, прозрачный ПВХ
Дополнительные модули
- Промывка перчаток
- Модуль травления спреем с раскруткой пластины
- Модуль групповой обработки пластин
- Корзины для переноски пластин
- Термостолик
- Модуль жидкостной обработки с раскруткой пластины
Элементы управления, электронные компоненты и пневматика
Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, пневматические и электронные компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне системы, распылитель DI-H2O и N2 встроен в рабочую поверхность.
Стандартные компоненты
- Важно: доступны индивидуальные варианты комплекта компонентов.
- Вентили: мембранные, шаровые, различного диаметра.
- Помпа: пневматическая помпа из пластика PTFE, опционально - электрические помпы из PVDF.
- Корпус фильтра: PFA 10“, опционально PVDF,
- Трубки/Фитинги: Трубки из PVDF, PP или PFA диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
- Пневматика: Festo-Parts, Система PLC, контроль с помощью ПК опционально
- Панель управления: сенсорный экран
Модули травления
- Работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2
- Фильтрационные или погружные, с регулировкой температуры и без.