Особенно подходит для производства оптико-электронных устройств и светодиодов, управляется с помощью PLC-контроллера и сенсорного экрана. Процесс запускается одним нажатием кнопки, что эффективно повышает производительность и стабильность.

Основные технические характеристики

• 6” источник излучения
• Точность совмещения: +/- 0.5 микрон
• Работа с 2”, 3” ,4”, 6” круглыми и квадратными  подложками
• Работа с позитивными, негативными и толстыми фоторезистами, толщина фоторезиста SU-8 до 300 микрон в пропорции до 10:1 
• Поддержка PSS-процесса
• Мягкий, жёсткий, вакуумный контакт и экспонирование с зазором
• Режимы управления с постоянной интенсивностью и мощностью
• Возможность расширения до двухсторонней системы экспонирования (опция)
• 6” источник излучения для экспонирования, спектральные линии G, H и I
• Управление с помощью программируемого логического контроллера и сенсорного экрана. 
• Регулируемый по мощности 2-х канальный источник питания для ближнего УФ с постоянной интенсивностью, мощность 350 Вт. 
• Сдвоенная ПЗС-камера и микроскоп, с единым и расщеплённым полем (опция).