Система анизотропного реактивно-ионного травления March RIE-1701 - фото 1 - id-p172372761

Характеристики и описание

- Производитель
  March
- Страна производитель
  США

Описание:

Интуитивно понятный графический интерфейс управления на основе сенсорного экрана позволяют вести мониторинг техпроцесса в режиме реального времени.
Источник питания с рабочей частотой 13,56 МГц и системой автоматического согласования обеспечивает прекрасный уровень повторяемости техпроцесса.
Точный контроль температуры осуществляется интегрированной внутри рабочей камеры системой
Возможность оснащения системы турбомолекулярным насосом

Система реактивно-ионного травление (РИТ) в компактном настольном корпусе

Система анизотропного реактивно-ионного травления (РИТ) RIE-1701 предназначена для травления и очистки поверхности различных полупроводниковых материалов, включая кремний, оксид кремния, нитрид кремния, металлов и различных других материалов, используемых для производства МЭМС, светодиодных устройств и множества других компонентов, удаления пассивирующих слоев, очистки поверхности полупроводниковых пластин, активации поверхности, удаления различных эпоксидных и других материалов, используемых при изготовлении интегральных схем.

Система RIE-1701 полностью автономна и требует минимального свободного пространства. Корпус, который выполняет функцию защитного кожуха, включает в себя плазменную камеру, электронную систему управления и ВЧ-генератор 13.56 МГц. Доступ к рабочей камере осуществляется через дверцу на передней панели.

Рабочая камера изготовлена из высококачественного анодированного алюминия с керамическими оправками, что обеспечивает долгий срок эксплуатации. Рабочая камера оснащается питающим электродом диаметром 150мм либо 200мм, что позволяет существенно расширить диапазон обрабатываемых пластин, корпусов и других компонентов.

Высокое качество плазменного травления при производстве МЭМС и светодиодных устройств

Система работает с большим разнообразием технологических газов, включая Ar, O2, H2, He, CF4, SF6,

Cl2, а также BCl3. В комплект системы входят два электронных контроллера расхода газа, еще 2 доступны как дополнительная опция (всего 4).

Высокая скорость и превосходная однородность травления

Достижимые на RIE-1701 значения скоростей травления для ряда материалов, приведены ниже:
Al/металлы: 1 мкм/мин;
GaAs: 1 мкм/мин;
TiW: 5 000 Å/мин;
SiO2: 3 000 – 7 000 Å/мин.

Рабочая камера RIE-1701 (версия для пластин 150мм)

Технические характеристики

Корпус	Рама алюминиевая, стенки из термопластика. Полностью закрывает рабочую камеру, электронику и генератор (насос внешний)	Общий вид системы RIE-1701 с открытой передней дверцей и поднятой крышкой рабочей камеры Общий вид системы RIE-1701 с закрытой передней дверцей, открытым смотровым окном и поднятой крышкой рабочей камеры
Габариты	Ш 569 х В 704 х Г 869 мм
Камера	Материал: анодированный алюминий с керамической оснасткой Внутренние размеры камеры: Диам. 254х В 38 (мм) Смотровое окно Рабочая зона систем под 6" и 8" пластины: диам. 152 мм, либо диам. 203 мм, соответственно.
ВЧ-генератор	600 Вт, 13.56 МГц, твердотельный, автоматическая настройка
Управление потоком газа	В базовом оснащении два регулятора расхода газа (опционально до четырех)
Управление	Программируемый логический контроллер и графический интерфейс управления на основе сенсорного экрана
Системаоткачки	Насос 552 л/мин с масляной ловушкой. Пригоден для работы с коррозионными газами.
Требования к подключениям	Линия электропитания: Однофазная сеть, 110-240В, 10А Продувочный газ: 0.25" разъем для подачи азота или чистого сухого воздуха под давлением 0,7-7 Бар Подача рабочих газов: 0.25" разъем, 0,7..1,0 Бар Азот/ чистый сухой воздух: 0.25" разъем под давлением 3,5..5,5 Бар
Опции	Два дополнительных регулятора расхода газа (в сумме до 4) Система фильтрации масла Масляная ловушка для коррозирующих газов Безмасляный насос и/или турбомолекулярный насос Азотный генератор / водородный генератор ПО для удаленного доступа и управления Независимый датчик контроля давления Регулятор расхода коррозирующих газов (внешний)